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SPETEC蠕動泵MP-12-SM-4-XU適用于半導體刻蝕液添加四通道獨立控制HF/HNO?/H?O?流量,混合精度??±0.1mL/min??,晶圓良率提升??2%
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SPETEC蠕動泵MP-12-SM-4-XU適用于半導體刻蝕液添加
SPETEC于1987年在德國埃爾丁創立,初期專注于分析儀器備件銷售。從潔凈室基礎設備(如層流箱)起步,逐步擴展至蠕動泵、注射泵等流體控制產品,并衍生激光安全防護業務。
主要產品:
SPETEC層流箱
SPETEC蠕動泵
SPETEC注射泵
SPETEC護目鏡
SPETEC安全幕
SPETEC泵MP-12-SM-4-XU
精密流體分割:12個滾輪連續交替擠壓軟管,形成0.0017mL級微枕單元,脈動幅度<1%(較6滾輪泵降低60%),滿足HPLC、ICP-MS等分析儀器對流量穩定性的嚴苛要求。
雙向無回流設計:步進電機支持正反轉切換(0-5V信號控制),停機時軟管彈性閉合阻斷回流,自吸高度≥2m(水介質),杜絕交叉污染。
并行精準輸送:4組獨立泵頭通過CAN總線同步控制,每通道流量范圍0.001-45mL/min(適配內徑1.6-4.8mm軟管),通道間流量偏差<±0.5%,支持多試劑同步配比。
軟管壓縮智能調節:旋鈕微調滾輪間隙(0.1-0.5mm),平衡密封性與軟管壽命(>2000小時連續運行),維護成本降低50%。
環保保障:流體僅接觸軟管內壁(可選氟橡膠/鉑金硅膠/PTFE),泵體陽極氧化+粉末涂層處理,耐受pH 0-14強酸強堿及DMSO、丙酮等有機溶劑。
IP54防護外殼:防塵防濺水,適配生物安全柜、潔凈室等ISO 5級敏感環境。
流量精度 ±0.5%(校準后) ±2%
脈動抑制率 >99%(12滾輪協同) ≤85%
轉速范圍 1-80 rpm(可擴展至120 rpm) 20-300 rpm
通道獨立性 4通道CAN總線同步控制 單通道獨立
介質兼容性 全系防腐,通吃強酸/高粘/含顆粒 受限(pH 4-10)
認證支持:通過FDA 21 CFR(食品/制藥)、ISO 14644(潔凈室)及RoHS指令。
型號示例:
SPETEC泵MP-12-SM-4-XU
SPETEC泵MP-12-SM-4-DU
SPETEC泵Perimax 16
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-120 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-80 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 SM 1-33 UPM
SPETEC泵Perimax 12/4 D-Sub
SPETEC泵Perimax 12/2 SM 1-33 UPM
SPETEC蠕動泵MP-12-SM-4-XU適用于半導體刻蝕液添加